中效過濾器的原型是人們?yōu)楸Ｗo呼吸而使用的呼吸保護器具。早期在提純水銀的時候就用粗麻制成的面具進行保護。隨著時間的推移，空氣過濾器也取得了進展，但其主要是作為呼吸保護器具用于一些危險的行業(yè)，如有害化學(xué)品的生產(chǎn)。1827年布朗發(fā)現(xiàn)了微小粒子的運動規(guī)律，人們對空氣過濾的機理有了進一步的認識。

中效過濾器的迅速發(fā)展是與軍事工業(yè)和電子工業(yè)的發(fā)展緊密相關(guān)的。在第一次世界大戰(zhàn)期間，由于各種化學(xué)毒劑的使用，以石棉纖維過濾紙作為濾煙層的軍用防毒面具應(yīng)運而生。玻璃纖維過濾介質(zhì)用于空氣過濾于1940年10月在美國取得專利。50年代，美國對玻璃纖維過濾紙的生產(chǎn)工藝進行了深入的研究，使空氣過濾器得到了改善和發(fā)展。60年代，HEPA過濾器問世；70年代，采用微細玻璃纖維過濾紙作為過濾介質(zhì)的HEPA過濾器，對013微米粒徑的粒子過濾效率高達99.9998%。八十年代以來，隨著新的測試方法的出現(xiàn)、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高，發(fā)現(xiàn)HEPA過濾器存在著嚴重的問題，于是又產(chǎn)生了性能更高的ULPA過濾器。如今，各國仍在努力研究，估計不久會出現(xiàn)更先進的空氣過濾器。
中效過濾器本身的設(shè)計也取得了顯著進展，其中最重要的是分隔板的去除，即無隔板過濾器的發(fā)展。無隔板過濾器不僅消除了分隔板損壞過濾介質(zhì)的危險，而且有效地增加了過濾面積，提高了過濾效率，并降低了氣流阻力，從而減少了能量消耗。此外，空氣過濾器在耐高溫、耐腐蝕以及防水、防菌等方面也取很大的進展，滿足了一些特殊的需求。